分析:從流體動力學(xué)的角度來講,涂布液體在不同位置受力不穩(wěn)定造成了此缺陷。該不穩(wěn)定在涂布基材上就會呈現(xiàn)橫向方向的正弦波形分布的涂布厚度不均。
結(jié)論:
第一步,是要確定你現(xiàn)在的工藝是否在合理的工藝窗口(process window)內(nèi)因為你知道了工藝窗口,才知道怎么調(diào)啊。你不能瞎調(diào)碰運氣?。≡谕坎紩r,很多工藝參數(shù)是可調(diào)的,而且通過調(diào)整可以達到你想要的效果。
第二步,如果你真不知道工藝窗口,那也有一些常規(guī)通用的辦法。稀釋你的涂布溶液,降低溶液粘度 (其實就是降低溶液的Ca)看是否可以加一些表面活性劑,如果是輥涂,減小輥子的直徑也是一種有效的辦法。